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中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997

发布时间：2026/8/166

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997
电阻率
25℃
MΩ*cm
硅
≤μg/L
铜
≤μg/L
锌
≤μg/L
镍
≤μg/L
钠
≤μg/L
钾
≤μg/L
氯
≤μg/L
>1μm颗粒
≤个/ml
细菌
≤个/ml
硝酸根
≤g/L
磷酸根
≤μg/L
硫酸根
≤μg/L
TOC
≤μg/L
EW-I
≥18*
2
0.2
0.2
0.1
0.5
0.5
1
0.1
0.01
1
1
1
20
EW-II
≥15 **
10
0
0
1
2
2
1
5
0.1
1
1
1
100

注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）


中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准
指标/级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
12.0
0.5
全硅，值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，值，个/mL
0.1
5
10
500
细菌个数，值，个/mL
0.01
0.1
10
100
铜，值，μg/L
0.2
1
2
500
锌，值，μg/L
0.2
1
5
500
镍，值，μg/L
0.1
1
2
500
钠，值，μg/L
0.5
2
5
1000
钾，值，μg/L
0.5
2
5
500
氯，值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，值，μg/L
1
1
5
500
硫酸根，值，μg/L
1
1
5
500
总有机酸，值，μg/L
20
100
200
1000


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